18119588884
產(chǎn)品中心
Product Center
當(dāng)前位置：首頁(yè)
產(chǎn)品中心高溫?zé)崽幚頎tCVD設(shè)備
product
產(chǎn)品分類
等離子化學(xué)氣相沉積-PECVD，為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法。它是由500W射頻電源、1200℃單溫區(qū)管式爐、三通道質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款設(shè)備用于生長(zhǎng)納米線、石墨烯或SIC薄膜等
更新時(shí)間：2026-07-31
瀏覽次數(shù)：465
